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IQ+FLOW

基于MEMS技術 — 壓力計/控制器

設備制造商們尋求緊湊的解決方案來監(jiān)測或控制其系統(tǒng)中的氣體流量或壓力。用于分析、生物技術和醫(yī)療市場的臺式設備需盡量小尺寸,以節(jié)省空間。

Bronkhorst與TNO-TPD(應用物理研究所|荷蘭)密切合作,開發(fā)了IQ+FLOW??氣體質量流量傳感器,并設計了微型壓力傳感器和不銹鋼微型閥。得益于MEMS技術,IQ+FLOW小流量氣體和壓力測量控制儀表尺寸大大縮小,為20 x 40 mm。IQ+FLOW壓力計和控制器可選配介質隔離傳感器,以兼容各種流體。

  • 最小范圍 0.01…0.5 bar 絕壓或表壓
  • 最大范圍 0.2…10 bar 絕壓或表壓

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客戶定制化設計

基于 IQ+FLOW??系列的微系統(tǒng)技術,Bronkhorst可提供緊湊型模塊上組合功能模塊的可能性。


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